TY  - JOUR
T1  - TEM studies of Ge nanocrystal formation in PECVD grown SiO2:Ge/SiO2 Multilayers
A1  - Agan, S.
A1  - Dana, A.
A1  - Aydinli, A.
JA  - J of Physics Condensed Matter
Y1  - 2006
VL  - 18
SP  - 5037
EP  - 5045
ER  -